主要技术指标：
v电子枪：热场发射超亮型；
v加速电压：20kV-200kV；
v信息分辨率：0.12nm；
vSTEM分辨率：0.16nm；
vSTEM：放大倍数范围：310-330MX；4个独立的探测器BF/DF2/DF4/HAADF；
v超级能谱系统：4探头无窗式；
vCMOS相机：分辨率16M像素；
v压电陶瓷样品台；
v三维重构系统：TEM、STEM及EDS；
v徕卡UC7超薄切片机。
