主要技术指标:
v电子枪:热场发射超亮型;
v加速电压:20kV-200kV;
v信息分辨率:0.12nm;
vSTEM分辨率:0.16nm;
vSTEM:放大倍数范围:310-330MX;4个独立的探测器BF/DF2/DF4/HAADF;
v超级能谱系统:4探头无窗式;
vCMOS相机:分辨率16M像素;
v压电陶瓷样品台;
v三维重构系统:TEM、STEM及EDS;
v徕卡UC7超薄切片机。