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日立SU3500钨灯丝扫描电子显微镜

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主要技术指标:

探头:SEBSEEDX探头。分辨率:

电子3.0nm@30kV7.0 nm@3kV

背散射4.0nm@30kV10.0 nm@5kV

具有低真空功能及可变压力操作模式,低真空模式样品室低真空范围达到650Pa

有电制冷EDX谱仪及离子溅射仪。