主要技术指标：
•单色化XPS及双阳极XPS
•微区XPS•平行成像XPS
•离子散射谱ISS
•反射电子能量损失谱REELS
•UPS紫外光电子能谱分析
•MAGCIS复合团簇离子枪刻蚀套件
•AES俄歇电子能谱
•原位XRF分析及扩展EDS分析功能
•ARXPS角分辨分析
•自动化五轴样品台
•原位高温高压催化反应池
